Aliuminio nitrido substratas

Mulitassubstratas(3 a1203. 2Si02): yra viena stabiliausių kristalų fazių A1203-Si02 dvejetainėje sistemoje, nors mechaninis stiprumas ir šilumos laidumas yra žemi, palyginti su A1203, tačiau jo dielektrinė konstanta žema, todėl tikimasi, kad jis dar labiau pagerins signalą perdavimo greitis. Šiluminio plėtimosi koeficientas taip pat yra mažas, o tai gali sumažinti LSI šiluminį įtempį, o laidininko medžiagos Mo, W šiluminio plėtimosi koeficiento skirtumas yra mažas, todėl važiuojant ciklu tarp laidininko įtempis yra mažas.

Aliuminisnitrido substratas:
a. Žaliava: AIN yra ne natūralus, bet dirbtinis mineralas 1862 m., pirmą kartą susintetintas Genther ir kt. Aln miltelių atvaizdavimas skirtas sumažinti nitridų metodą ir tiesioginio nitridavimo metodą. Pirmasis reaguoja su didelio grynumo anglies redukcija A1203, tada reaguoja su azotu, o pastarasis yra tiesiogiai azotinamas. ;

b. Gamybos būdas: A1203substratasgamyba gali būti naudojama AIN substratų gamyboje, kai maksimaliai naudojamas organinio laminavimo metodas, tai yra AIN žaliavos milteliai, organiniai klijai ir tirpiklis, paviršinio aktyvumo medžiagų mišinys Keraminės srutos, paskirstymas, laminatas, karštas presas, nuriebalinimas, deginimas

C. AIN substrato charakteristikos: AIN yra daugiau nei 10 kartų, o CTE atitinka silicio plokštelę. AIN medžiaga yra santykinai susijusi su A1203, izoliacijos varža, izoliacija ir dielektrinė konstanta yra mažesnė. Šios savybės yra labai retos naudojant pakavimo pagrindą;

d. Taikymas: naudojamas VHF (ypač aukšto dažnio) dažnio juostos galios stiprintuvo moduliui, didelės galios įrenginiui ir lazerinio diodo substratui.